測量導(dǎo)電材料的體積電阻率 RM9010 使用4探針法測量體積電阻率、表面電阻率和電導(dǎo)率。

4探針法是指使用帶有4根探針的測試線，從通過4端子法測量到的電阻值中， 算出體積電阻率、表面電阻率（薄層電阻）的方法。 電阻計RM3545通過4針探頭和PC應(yīng)用軟件能夠?qū)崿F(xiàn)4探針的測量。 PC軟件可以從我司提供的4探針測試線套裝中附帶的CDR中安裝。

· 有兩種類型的4探針，針間距1.5mm和針距5.0mm。

· 通過PC軟件可以測量矩形的樣品以及圓柱形的樣品。

· 可測量的單位包括體積電阻率、表面電阻率和電導(dǎo)率。作為參考也可以選擇電阻值。

· 輸入樣品的尺寸和要測量的坐標(biāo)位置，軟件會自動算出補償系數(shù)并顯示。

· 顯示測量履歷，測試結(jié)果的CSV保存等，使用軟件的便利性。

· 以基本精度0.006%，最高分辨率0.01μΩ(RM3545的參數(shù))來測量低電阻值。從而獲得高精度的體積電阻率。

PC軟件運行環(huán)境：
.NET Framework 4.6.1或
.NET Framework 4.6.1以后有兼容性的環(huán)境

※請從 .NET Framework は Microsoft公司的網(wǎng)頁上下載安裝。

需設(shè)置樣品的尺寸、探針的種類。設(shè)置值的有效位數(shù)為5位、最多到小數(shù)點以下2位。
1.樣品的長邊
輸入樣品長邊方向的長度。
可設(shè)置范圍
RM9010-01:    18 mm ~ 2000 mm
RM9010-02:    6.0 mm ~ 2000 mm
2.樣品的短邊
輸入樣品短邊方向的長度。
可設(shè)置范圍
RM9010-01:    2.0 mm ~ 長邊的長度
RM9010-02:    1.5 mm ~ 長邊的長度
3.樣品的厚度
輸入樣品的厚度。
可設(shè)置范圍
RM9010-01:    10^-9 mm ~ 30 mm
RM9010-02:    10^-9 mm ~ 30 mm
4.測量點位的ⅹ坐標(biāo)
輸入ⅹ坐標(biāo)確定下探針的位置。請以探針的中心為坐標(biāo)去輸入。
可設(shè)置范圍
RM9010-01:    在樣品內(nèi)、且從樣品短邊往內(nèi)側(cè)8.5mm以上
RM9010-02:    在樣品內(nèi)、且從樣品短邊往內(nèi)側(cè)3.0mm以上
5.測量點位的y坐標(biāo)
輸入y坐標(biāo)確定下探針的位置。請輸入測試探針的中心坐標(biāo)。
可設(shè)置范圍
RM9010-01:    在樣品內(nèi)、且從樣品長邊往內(nèi)側(cè)10mm以上
RM9010-02:    在樣品內(nèi)、且從樣品長邊往內(nèi)側(cè)0.75mm以上

需設(shè)置樣品的尺寸、探針的種類。設(shè)置值的有效位數(shù)為5位、最多到小數(shù)點以下2位。
1.樣品的半徑
輸入樣品半徑的長度。
可設(shè)置范圍
RM9010-01:    8.5 mm ~ 500 mm
RM9010-02:    3.0 mm ~ 500 mm
2.樣品的厚度
輸入樣品的厚度。
可設(shè)置范圍
RM9010-01:    10^-9 mm ~ 30 mm
RM9010-02:    10^-9 mm ~ 30 mm
3.測量位置的坐標(biāo)
輸入探針下壓位置的坐標(biāo)(x,y)。請以探針的中心為坐標(biāo)去輸入。
可設(shè)置范圍
RM9010-01:    坐標(biāo)(x,y)在樣品內(nèi)、且從樣品的邊緣往內(nèi)8.0mm以上
RM9010-02:    坐標(biāo)(x,y)在樣品內(nèi)、且從樣品的邊緣往內(nèi)3.0mm以上

電阻測量量程/測量電流的組合如下所示。

4探針測試線 間距 5.0mm RM9010-01

4探針測試線 間距 5.0mm RM9010-01 外觀尺寸圖

4探針測試線 間距 1.5mm RM9010-02

4探針測試線 間距 1.5mm RM9010-02外觀尺寸圖